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上海美续测控技术有限公司

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Luxor Pt磁控离子溅射仪

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更新日期2023-02-26 18:56

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基本参数

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上海

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长期有效
详细说明
LUXOR-Pt 喷金仪是一款触摸屏控制的全自动的磁控离子溅射装置,专用于电镜某些非导电样品的喷金处理,以提高电镜观察的成像效果!
采用样品倒挂设计,装取样品简易,无高压线缆外置,样品避免碎粒碎屑沉积,镀膜均匀一致,触摸屏控制,操作简单,不需要手动调节电压电流,只需设置镀膜厚度,真空度,无需操作经验,几分钟即可学会使用。
主要技术指标和特点如下:
------ 三种模式: 金属溅射,样品干燥,真空脱气
------ 厚度可选范围:1nm  --- 100nm
(连续可调,金镀膜厚度:典型10nm,铂镀膜层厚:典型2nm)
------  气源要求: 氩气 0.6bar
------  真空度可设定:7Pa--150Pa
------ 工作时间设定: 1---- 600min (连续可选)
------ 平均喷膜时间:6min
------ 可实现多达6个样品的同时喷膜,样品仓高度可调!
------ 专门设计的样品站,可直接实现Thermo Phenom电镜样品夹的喷涂
------ 双重安全护罩保护,硼硅玻璃样品仓外无高压部件
------  方便的样品固定和靶材更换
------ 占地小35cm*35cm,重量 :13.5 Kg,长宽高:340mm*340mm*290mm
------ 电源:110-240V&50Hz, 不含泵功耗120W,含泵功耗500W
------ 真空泵连接:DN 16KF
------ 工作气体连接:快插4*1mm
Luxor Pt磁控离子溅射仪
https://www.chem17.com/st551554/list_2399902.html
https://www.chem17.com/st551554/product_37335046.html

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