PSVH30-010U为Z向直驱压电平移台，采用压电陶瓷直驱机构的设计原理，具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点，配置高精度传感器，可以实现纳米级分辨率、定位精度具有较高的可靠性，压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。
压电位移台可提供SGS传感器反馈或无反馈（开环）。 对于需要紧凑的尺寸，高动态性和亚纳米级的定位分辨率，但又不需要绝对的定位精度和可重复性的应用，开环提供了一种经济高效的选择。在通过外部反馈源（干涉仪，视觉系统，光电探测器等）控制压电位置的情况下，也可以使用开环设计版本。
本系列产品形行程范围为5μm（闭环）。
产品特性
—单轴运动
—运动可达10μm（闭环）
—最大承载0.8kg
—紧凑型设计
选配功能
—可定制安装、负载固定孔位及转接装置
—可选PZT&Sensor连接器及线缆长度
—可选配闭环(SGS) 位置反馈系
—可提供XZ、XY和XYZ版本
应用领域
—纳米压印、纳米计量、纳米光刻
—原子力显微镜、扫描电镜
—生物技术、干涉测量
—表面测量技术、光纤端面检测、半导体技术
结构原理 位移特性 典型应用
PSVH30-010U系列技术参数
